我相信任何企業(yè)都非常關(guān)心潔凈室的能耗。上海鴻潔源凈化通過(guò)十余年的凈化設(shè)計(jì)和施工經(jīng)驗(yàn)，對(duì)半導(dǎo)體潔凈室內(nèi)外的能源負(fù)荷進(jìn)行了說(shuō)明，并對(duì)半導(dǎo)體潔凈室可能的節(jié)能方法進(jìn)行了逐一詳細(xì)的說(shuō)明。

A.室內(nèi)負(fù)荷：

(a)人員(顯熱=6千卡/小時(shí)，潛熱=5千卡/小時(shí))

(b)照明：30W/(在黃燈區(qū)，這個(gè)值應(yīng)該大1.5倍左右)

(c)機(jī)器負(fù)荷：輸入功率x負(fù)荷系數(shù)冷卻循環(huán)水負(fù)荷=循環(huán)水流量x水溫差(此處溫差在5左右)排氣負(fù)荷=排氣量x排氣溫差，此處排氣溫差可分為三類：1 .酸氣、有機(jī)氣或緊急排氣的排氣溫差一般為5，2。不可燃?xì)怏w的排氣溫差約為10，3。產(chǎn)生高溫的機(jī)器的排氣裝置的排氣溫差在20左右。

(d)鼓風(fēng)機(jī)熱負(fù)荷：輸入功率x負(fù)荷系數(shù)。

B.室外負(fù)載：

室外空氣輸入x室內(nèi)外空氣的焓差，其中室外空氣輸入包括排氣量加上換氣和維持正壓所需的人員數(shù)量。在分析半導(dǎo)體潔凈室的能耗時(shí)，我們必須明白，一般的工作區(qū)分為1個(gè)制造區(qū)，即fab區(qū)，2個(gè)組裝區(qū)和測(cè)試區(qū)。通常每個(gè)區(qū)的潔凈度和要求水平會(huì)有所不同，潔凈室的結(jié)構(gòu)也會(huì)有所不同。如圖所示，A.H.U系統(tǒng)通常與作為裝配區(qū)或測(cè)試區(qū)的紊流潔凈室配合使用。如果潔凈室的設(shè)計(jì)采用湍流式，吊頂內(nèi)不要充滿過(guò)濾器，過(guò)濾器的面積與吊頂面積的比值必須達(dá)到一定值，才能保證潔凈度。而且，由于氣流分布的關(guān)系，通常在過(guò)濾器的出口處安裝擴(kuò)散器，以加強(qiáng)過(guò)濾器出口空氣的擴(kuò)散面積。對(duì)于工廠區(qū)域，目前有三種常見(jiàn)的潔凈室設(shè)置，即開(kāi)放式隔間系統(tǒng)、風(fēng)扇過(guò)濾單元系統(tǒng)和風(fēng)扇模塊系統(tǒng)。它們的原理圖分別如圖2、3和4所示。通常在選擇FAB區(qū)域的潔凈室類型時(shí)，必須考慮生產(chǎn)、維護(hù)、使用壽命和初投資能耗等因素，進(jìn)行綜合考慮。以上三種類型各有利弊，選擇必須多方考慮。目前最佳方案的確定尚無(wú)定論，仍需研究。目前，普遍認(rèn)為風(fēng)機(jī)-過(guò)濾單元系統(tǒng)和風(fēng)機(jī)-模塊系統(tǒng)比開(kāi)間系統(tǒng)具有更大的節(jié)能空間。

就半導(dǎo)體潔凈室的負(fù)荷特性而言，無(wú)論上述三個(gè)FAB區(qū)的潔凈室類型如何，暖通空調(diào)的熱負(fù)荷都遠(yuǎn)高于普通建筑。其中，建筑物的穿透負(fù)荷、人員和燈光負(fù)荷與普通辦公室相差不大，但室外空氣負(fù)荷、機(jī)器負(fù)荷和風(fēng)機(jī)負(fù)荷占全部暖通負(fù)荷的90%以上，其中室外空氣負(fù)荷實(shí)際占45 ~ 45%。